但是在上世纪八十年代,这些企业,就被日本的尼康和佳能给打的落花流水。
到了九十年代初期,日本的尼康和佳能,更是光刻机领域的绝对老大。
那时候的ASML还只不过是一家只有三十一个员工的小舢板。
而ASML真正的崛起,还要说在上世纪的九十年代。
当光刻制程的技术,从193纳米像157nm突破的时候。
当时尼康选择了保守路线,打算采用F2激光作为光源,可这种做法费时费力,成本还高。
而那时候湾湾的林本坚就研发出了一套沉浸式光刻发,使用极紫外光作为光源的工艺。
可当时他像日本人推销自己这套技术的时候,被高傲的日本人一口回绝了。
于是憋着一口气的林本坚就跑去了荷兰找到了ASML,而原本就没什么好输的ASML就决定赌这一票。
没想到他们使用林本坚的技术,还真就比日本人更早突破了153nm制程的芯片。
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